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泉州三安半導體

合作時間：2020年

預算金額：1860萬元

氣體種類：高純氮（PN2）、普氮（GN2）、三氯化硼（BCL3）、 氨氣（NH3）、 4%氫氣-氮氣混合氣體（4%H2/N2） 、氯氣（CL2） 、含1%的氟和1.2%氪氖混合氣（1%F2/1.2%Kr/Ne）、三氟甲烷(CHF3) 、四氟化碳（ CF4）、二氧化碳（CO?）、高純氬氣（ PAr）、 高純氧（PO2） 、高純氦氣（ PHe）、1.2%氪氖混合氣（1.2%Kr/Ne）


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